Вакуумная ионно-плазменная установка для обработки крупногабаритных и протяженных деталей ЭЛИОН


За один производственный цикл на установке «ЭЛИОН»
вы получите до 300 кг обработанных металлических изделий,
которые прослужат в 2-5 раз дольше!

Краткое описание технологии

Автоматизированная вакуумная ионно-плазменная установка «ЭЛИОН» в едином рабочем цикле позволяет:

  • проводить предварительную ионно-плазменную очистку,
  • активацию поверхности изделий,
  • формирование на поверхности изделий упрочненного азотированного слоя в режиме «элионного» азотирования.
  • формировать различные функциональные покрытия с помощью плазменно-ассистированного вакуумно-дугового напыления.

Использование протяженных генераторов как газовой, так и металлической плазмы позволяет значительно повысить равномерность обработки крупногабаритных и протяжённых изделий (валы, шнеки, плунжеры, лопатки турбин и т.п.) по сравнению с традиционными установками, использующими метод КИБ.

Установка позволяет наносить:

  • однослойные,
  • многослойные,
  • градиентные наноструктурированные,
  • нанослойные,
  • нанокомпозитные покрытия и их комбинации.

«Элионный» режим азотирования подразумевает периодическое прикладывание положительного и отрицательного напряжения смещения к обрабатываемой детали. Это обеспечивает эффективный подогрев электронной компонентой плазмы без ионного травления его поверхности. Очистка поверхности детали, при этом, производится в перерывах между электронным нагревом.

«Элионный» режим обработки практически исключает ионное травление в процессе обработки, тем самым предотвращая увеличение шероховатости модифицируемой поверхности деталей.

Конструкционные особенности установки позволяют устанавливать манипулятор для крепления деталей сверху и снизу рабочей камеры, тем самым упрощая размещение деталей в вакуумной камере для обработки.

Вакуумная камера оснащена шестью прямоугольными фланцами с отверстием размером 140х670 мм. и имеет двойные стенки для улучшенного охлаждения, что позволяет проводить высокотемпературные процессы азотирования без перегрева оборудования.

В базовой комплектации установка оснащается одним протяженным генератором газовой плазмы ПИНК-П06М и двумя протяженными электродуговыми испарителями ДП600. По запросу можно увеличить количество генераторов плазмы и электродуговых испарителей для повышения производительности и расширения номенклатуры осаждаемых покрытий.

Использование карты технологических процессов даёт возможность проводить в автоматическом режиме предустановленные стандартные процессы обработки деталей, а также разрабатывать и сохранять свои, уникальные режимы обработки. Протоколы техпроцессов автоматически сохраняются на жёсткий диск.

Система напуска газов имеет три канала и позволяет смешивать технологические газы в любых пропорциях и стабилизировать поток газа, либо давление в камере.

Вакуумная система установки оснащена высокопроизводительными турбомолекулярным и пластинчато-роторным насосами и позволяет быстро достигать предельного давления ниже 0,005 Па.

По запросу установка комплектуется системой быстрой замены садок деталей для повышения производительности обработки.

Основные характеристики установки "ЭЛИОН"

Размеры установки 2500×2600×2300 мм
Размеры садки деталей Ø700 h700 мм
Ток разряда генератора газовой плазмы до 200 А
Ток разряда дугового испарителя до 250 А
Манипулятор 12 позиций, 200 кг
Потребляемая мощность до 70 кВт
Рабочее давление 0.01–2 Па
Водяное охлаждение не более 5 м3

Установка «ЭЛИОН» предназначена для обработки металлических изделий

  • на предприятиях/производствах производящих детали машин и механизмов, работающих в условиях повышенных нагрузок
  • на инструментальных производствах для упрочнения металлорежущего инструмента и повышения его производительности и срока службы
  • в научных и образовательных учреждениях для проведения исследований по ионно-плазменной обработке поверхности материалов и обучения студентов
  • и многих других применений

Габаритные размеры установки 2500×2600×2300 мм, позволяют компактно размещать ее в производственных помещениях. Для подключения необходима лишь трёхфазная сеть (при комплектации установки чиллером).

Разработанные автоматизированные процессы обработки изделий не требуют высокой квалификации операторов для работы с установкой «ЭЛИОН». Наши специалисты обеспечивают запуск установки на территории Заказчика, обучение персонала для безопасной и эффективной работы на установке, а также гарантийное обслуживание и техническое сопровождение.

Срок изготовления от 10 месяцев.

Контактная информация

Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3

Заведующий лабораторией
плазменной эмиссионной электроники
АХМАДЕЕВ Юрий Халяфович
ahmadeev@opee.hcei.tsc.ru
+8 3822 491713
+7 923 408 6284