Вакуумная ионно-плазменная установка для азотирования "ТРИО"


Фирма-изготовитель: Лаборатория плазменной эмиссионной электроники ИСЭ СО РАН
Страна происхождения: Россия
Год выпуска: 2008


Назначение, краткая характеристика

Вакуумная ионно-плазменная установка «ТРИО» использует три уникальных плазмогенератора для синтеза газовой и металлической плотной плазмы, используемой для модификации поверхности материалов и изделий. Для генерации объёмной газовой плазмы используется плазменный источник с накалённым катодом «ПИНК», также разработанный в ИСЭ СО РАН.

Основные характеристики

Размеры установки 2100×1600×2120 мм
Размеры вакуумной камеры 600×600×600 мм
Скорость нанесения покрытий до 5 мкм/ч
Потребляемая мощность до 40 кВт
Давление 0.05–1 Па
Расход воды для охлаждения 2 м3

Возможности и особенности

  • возможность работы на смеси двух газов;
  • возможность проведения комплексных процессов обработки, включающих ионную очистку, диффузионное насыщение и напыление покрытий
  • возможность одновременного создания газовой и металлической плазмы в одном вакуумном объеме;
  • широкий диапазон параметров;
  • независимая регулировка основных параметров;
  • нанесение твердых и сверхтвердых покрытий с регулируемой in situ стехиометрией;
  • повышение коррозионной стойкости и износостойкости поверхности изделий;
  • возможность одновременного или поочередного использования двух материалов катода;
  • возможность использования композиционных катодов;
  • обработка изделий сложной формы;
  • глубина обработки до 500 мкм;
  • нет специальных требований по размещению установки (низкая величина ускоряющего напряжения, не требуется дополнительная радиационная защита);
  • использование манипулятора позволяет обрабатывать образцы с большой площадью поверхности или партию мелкоразмерных образцов или изделий.

Контактная информация

Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3

Заведующий лабораторией
плазменной эмиссионной электроники
АХМАДЕЕВ Юрий Халяфович
ahmadeev@opee.hcei.tsc.ru
+8 3822 491713
+7 923 408 6284