Вакуумная установка для нанесения износостойких нитридных покрытий


Назначение

Магнетронное осаждение износостойких нитридных покрытий методом дуального сильноточного магнетронного распыления.

Параметры покрытий

Состав TiN, TiAlN, CrAlN, многослойные металл/нитрид покрытия
Твердость 20÷30 ГПа
Скорость износа 10-6÷10-7 мм3·Н-1·м-1

Контактная информация

Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3

Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
andrewsol@mail.ru
+8 3822 491651