Вакуумная установка для нанесения износостойких нитридных покрытий


Назначение

Магнетронное осаждение износостойких нитридных покрытий методом дуального сильноточного магнетронного распыления.

Параметры покрытий

Состав TiN, TiAlN, CrAlN, многослойные металл/нитрид покрытия
Твердость 20÷30 ГПа
Скорость износа 10-6÷10-7 мм3·Н-1·м-1

Контактная информация

Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3

Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
andrewsol@mail.ru
+8 3822 491651

Разработки и инновации

СМИ О НАС

Публикации, статьи, видео об институте

Об Институте за две минуты

Видеоролик об Институте сильноточной электроники СО РАН

Целевое обучение

Подробная инструкция по поступлению на целевое обучение по программе аспирантуры

Национальный проект Наука и университеты

XXI век — время прорывных технологий и невероятных инноваций, создавать которые — профессия завтрашнего дня!

В ИСЭ СО РАН впервые в России реализовали вакуумное магнетронное распыление в непрерывном режиме

Исследователи из Института сильноточной электроники СО РАН предложили уникальную технологию вакуумного магнетронного распыления

ОБЪЯСНЯЕМ.РФ

Правительством РФ запущен интернет-портал портал Объясняем.рф – официальный ресурс для информирования граждан по актуальным вопросам о социально-экономической ситуации в России.

Полученные томскими электрофизиками магнитозвуковые волны помогут в решении проблемы зажигания термоядерной реакции

Коллектив ученых ИСЭ СО РАН под руководством доктора физ.-мат. наук Владимира Орешкина экспериментально зарегистрировал и теоретически описал генерацию магнитозвуковых волн при взрывном сжатии проводников мегаамперными импульсами тока.

Десятилетие науки и технологий

Открылась обновленная экспозиция "Десятилетие науки и технологий" на Международной выставке-форуме "Россия"

Аспирантура

В настоящее время Институт осуществляет обучение по программам высшего образования – программам подготовки научно-педагогических кадров по 2 направлениям и 4 профилям.

EFRE 2024

The 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт сильноточной электроники
Сибирского отделения Российской академии наук

Россия, 634055, г. Томск, проспект Академический, 2/3

Тел. +7 (3822) 491-544
Факс +7 (3822) 491-410
E-mail: contact@hcei.tsc.ru


vk.com
Разработка и оформление web@hcei.tsc.ru