Вакуумная установка для нанесения износостойких нитридных покрытий


Назначение

Магнетронное осаждение износостойких нитридных покрытий методом дуального сильноточного магнетронного распыления.

Параметры покрытий

Состав TiN, TiAlN, CrAlN, многослойные металл/нитрид покрытия
Твердость 20÷30 ГПа
Скорость износа 10-6÷10-7 мм3·Н-1·м-1

Контактная информация

Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3

Зав. лабораторией прикладной электроники
Соловьёв Андрей Александрович
andrewsol@mail.ru
+8 3822 491651

Разработки и инновации

Десятилетие науки и технологий

Открылась обновленная экспозиция "Десятилетие науки и технологий" на Международной выставке-форуме "Россия"

Национальный проект «Наука и университеты»

XXI век — время прорывных технологий и невероятных инноваций, создавать которые — профессия завтрашнего дня!

Об Институте за две минуты

Видеоролик об Институте сильноточной электроники СО РАН

ОБЬ-2024 | V Научно-технический семинар по электронно-пучковому оборудованию и технологиям

10-14 Июня, 2024 | Новосибирск

Полученные томскими электрофизиками магнитозвуковые волны помогут в решении проблемы зажигания термоядерной реакции

Коллектив ученых ИСЭ СО РАН под руководством доктора физ.-мат. наук Владимира Орешкина экспериментально зарегистрировал и теоретически описал генерацию магнитозвуковых волн при взрывном сжатии проводников мегаамперными импульсами тока.

СМИ О НАС

Публикации, статьи, видео об институте

В ИСЭ СО РАН впервые в России реализовали вакуумное магнетронное распыление в непрерывном режиме

Исследователи из Института сильноточной электроники СО РАН предложили уникальную технологию вакуумного магнетронного распыления

EFRE 2024

The 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)

Аспирантура

В настоящее время Институт осуществляет обучение по программам высшего образования – программам подготовки научно-педагогических кадров по 2 направлениям и 4 профилям.

ОБЪЯСНЯЕМ.РФ

Правительством РФ запущен интернет-портал портал Объясняем.рф – официальный ресурс для информирования граждан по актуальным вопросам о социально-экономической ситуации в России.

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт сильноточной электроники
Сибирского отделения Российской академии наук

Россия, 634055, г. Томск, проспект Академический, 2/3

Тел. +7 (3822) 491-544
Факс +7 (3822) 491-410
E-mail: contact@hcei.tsc.ru





vk.com