Нанесение DLC:SiOx покрытий плазмохимическим методом для применений в медицине (биоинертные, атромбогенные покрытия для кардиохирургии) и машиностроении (для защиты металлов от износа и коррозии). Для некоторых изделий возможно предварительное азотирование поверхности.
Материал изделий под покрытие: кремний, стекло, титан и его сплавы, нержавеющая сталь, быстрорежущая сталь, ВК-8.
Толщина | 1÷3 мкм |
Твердость | 13÷20 ГПа |
Индекс пластичности (H/E) | 0,1÷0,11 |
Скорость износа | 10-7÷10-8 мм3·Н-1·м-1 |
Коэффициент трения | 0,05÷0,15 |
Температурная стабильность на воздухе | до 450÷500°С |
Структура | аморфная |
Скорость коррозии, мм/год | 10-5÷10-6 |
Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
andrewsol@mail.ru
+8 3822 491651