Вакуумная установка для нанесения электролита твердооксидных топливных элементов


Назначение

Магнетронное осаждение тонкопленочного двухслойного электролита на основе оксидов циркония и церия на несущие аноды твердооксидных топливных элементов.
Виды покрытий: YSZ, GDC.

Параметры установки

Размер установки 2300×2000×1600 мм3
Потребляемая мощность 30 кВт
Метод нанесения дуальное реактивное
магнетронное распыление
Размер обрабатываемых анодов 100×100 мм2
Кол-во анодов в одной загрузке 24 шт.
Скорость нанесения 5-30 нм/мин
Стабилизация процесса реактивного распыления по электрическим параметрам разряда
Полная автоматизация процесса нанесения

Контактная информация

Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3

Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
andrewsol@mail.ru
+8 3822 491651