Назначение
Магнетронное осаждение тонкопленочного двухслойного электролита на основе оксидов циркония и церия на несущие аноды твердооксидных топливных элементов.
Виды покрытий: YSZ, GDC.
Параметры установки
| Размер установки | 2300×2000×1600 мм3 |
| Потребляемая мощность | 30 кВт |
| Метод нанесения | дуальное реактивное магнетронное распыление |
| Размер обрабатываемых анодов | 100×100 мм2 |
| Кол-во анодов в одной загрузке | 24 шт. |
| Скорость нанесения | 5-30 нм/мин |
| Стабилизация процесса реактивного распыления по электрическим параметрам разряда | |
| Полная автоматизация процесса нанесения | |
Контактная информация
Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
Зав. лабораторией прикладной электроники
Соловьёв Андрей Александрович
andrewsol@mail.ru
+8 3822 491651
